集成电路关键面积研究方法的发展与挑战

摘要

关键面积研究方法是集成电路可制造性(DFM)领域的重要研究内容。对主流关键面积研究方法进行了综述与分析,讨论了Monte Carlo方法、多边形算子方法、Voronoi图方法的优缺点;对亚波长光刻阶段关键面积研究面临的挑战进行了分析与探讨。