改进型恩斯特(ERNST)电极的设计与应用

摘要

通过对保角变换的精确修正，推导出了设计均匀场电极的简易解析公式，使电极的紧凑性和均匀性有很大改进。将此电极运用于准分子激光系统（KrF248nm），获得了较大宽度的均匀放电。