激光纳米振动测量技术研究

摘要

本文通过对电子散斑小振幅振动测量的线性分析，实施一系列特殊算法、散斑平均技术及特殊图象处理等工作，使得纳米振动测量系统的测量精度得到较大提高．该系统将具有全场、非接触、测量速度快、测量精度高等优点。