不同衬底上VO_2薄膜的微观结构和光学性能研究

摘要

以云母(001)晶面和玻璃片为衬底,采用溶胶-凝胶法在其表面制备VO2薄膜。利用XRD,AFM,FTIR等手段分析了不同衬底上薄膜的微观结构和光学性能。结果表明,云母表面VO2薄膜常温下呈单一的(011)取向,而玻璃表面VO2薄膜呈现(100)和(011)2种取向,单一(011)晶体取向的VO2薄膜表现出更好的光学开关性能。还分析了VO2薄膜的晶体取向对其光学性能的影响。