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曾祥斌; 徐重阳; 戴永斌; 王长安; 周雪梅; 赵伯芳;
华中科技大学电子科学与技术系;
多晶硅薄膜; 薄膜晶体管; 激光晶化; 椭偏谱; XeCl;
机译:一种使用XeCl准分子激光晶化预先形成的非晶硅膜的高性能多晶硅薄膜晶体管
机译:准分子激光结晶生长的多晶硅薄膜及其椭偏分析。
机译:通过底栅结构上预图案化的沟道层的激光晶化制备的高性能多晶硅薄膜晶体管
机译:在玻璃上制备高质量多晶硅薄膜并通过光谱椭偏仪进行原位实时监控
机译:Ag和ZnO薄膜及其界面在薄膜光伏中的光谱椭偏分析研究。
机译:无裂缝和缩收的乙烯桥接多晶硅硅氧烷通过氢化硅烷化反应制备的薄膜
机译:激光处理的硅表面以及由脉冲激光沉积产生的非晶硅和SixC薄膜的椭偏研究
机译:非晶薄膜激光晶化制备大晶粒半导体薄板的新技术
机译:智能薄膜涂层和智能偏振设备,智能椭偏仪和智能椭偏仪
机译:椭偏分析仪,样品椭偏分析方法和薄膜厚度变化量测量
机译:液晶显示的薄膜晶体管薄膜的激光晶化系统,激光晶化方法和制备方法
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