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采用壳层效应屏蔽长度Monte Carlo方法计算溅射产额

         

摘要

使用ACAT模拟程序计算了不同离子碰撞在单原子材料上的溅射产额 .采用山村等人提出的考虑壳层效应的理论屏蔽长度 ,原子间作用势用Moli啨re势 .并将计算结果与实验数据和山村等的经验公式进行了比较 .

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