P型掺杂金刚石厚膜的电火花加工

摘要

CVD金刚石具有和天然金刚石相近的一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在航空、航天、国防等高科技领域具有广阔的应用前景。但是,普通CVD金刚石膜是绝缘体,无法直接进行电加工。本文在分析了电火花加工半导体材料去除速率的基础上,通过掺硼对CVD金刚石厚膜进行半导体改性,继而实现了其电火花加工。通过研究,建立了掺硼金刚石厚膜电火花加工去除速率的经验公式。最后,通过Raman和SEM分析对CVD金刚石厚膜的电火花加工机理进行了初步探讨。