半导体激光器特性对衍射测量影响的理论分析

摘要

半导体激光器发出的是一束发散的椭园形高斯光束，并具有温度依赖性。本文以细丝衍射测量系统为例，讨论半导体激光器的上述特性对测量精度的影响，并提出消除这些影响的方法。