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俞静; 钱省三; 邵志芳;
上海理工大学微电子发展研究中心;
半导体制造车间; 设施规划; 优化配置; 物料搬运系统;
机译:在半导体制造中使用自组织的设施规划和布局规划的集成
机译:用于规划半导体制造设施中的产品过渡的仿真优化
机译:系统布局规划:对半导体晶圆制造设施的研究
机译:规划产品过渡的仿真优化半导体制造设施
机译:使用实时反馈控制和预测对半导体晶圆制造进行车间调度。
机译:基于工件异常事件监控和智慧制造车间工具剩余使用寿命预测的车间主动调度
机译:半导体波动制造设施的战术规划模型
机译:为作业车间环境规划mIs(制造信息系统)
机译:金属装配车间,用于制造halfgeleiderinrichtingen,方法,用于此装配车间制造halfgeleiderinrich。用这种方法,得到半导体器件。
机译:设施控制系统(FCS-C2)(行车形式的介绍),用于管理资产的规划,设计,建造,制造,操作,维护和产品制造
机译:作业车间调度与离散事件模拟的集成,用于制造设施
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