变形镜像差拟合能力的有限元仿真

周超; 杨洪波; 王富国; 林旭东

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变形镜像差拟合能力的有限元仿真

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为了研究变形镜对于Zernike多项式像差模式的拟合能力,利用有限元仿真方法,建立了两种不同单元排布方式的变形镜有限元模型.通过给促动器施加理论位移,进行了仿真分析.结果指出了不同的促动器排布方式与像差拟合能力之间的关系,同时表明57点促动器密布的排列方式已经能校正像差到λ/20甚至更小,验证了促动器对变形镜"印透效应"等的影响.

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来源
《光子学报》 |2010年第8期|1461-1465|共5页
作者
周超; 杨洪波; 王富国; 林旭东;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

中国科学院研究生院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;工程光学;
关键词
变形反射镜; 有限元法; 像差拟合;

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