Nanoscale Multilayered ZrAlN/ZrB_(2) Coatings Synthesized by Magnetron Sputtering

摘要

包含轮流出现的双性人层时期的 Multilayered ZrAIN/ZrB_2 涂层被 dc 磁控管劈啪作响综合技术。ZrN (111 ) 或 ZrN (200 ) 的紧张在 nanolayers 的结构的质地在免职期间取决于双性人层时期以及 N_2 煤气的部分压力。测试的 Nanoindentation 证明坚硬和 nanolayers 的内部应力在涂层与双性人层时期和结晶的取向变化了。有 3 ~ 的双性人层时期的 nanolayers 的坚硬 6 nm 被提高(约 27%) 在 rule-of-mixture 价值上。在处理气体的 N_2 的一个低百分比被证明是到高难的 nanoscale multilayered 涂层的合成的 benefitial。