硅微弹簧-滑块摩擦力测试结构静力学分析

摘要

为了研究微机械摩擦问题，设计了一组硅微弹簧摩擦力测试结构，并对其进行了静力学分析，导出系统弹性系数的计算方法，分析了强度及应力分布特点。对比ＡＮＳＹＳ仿真结果，分析了两种分析方法的差异原因，得出微结构中拉簧对测试微结构力学性能影响最大，弯簧根部应力最大，而拉簧直角拐弯处应力最大。