SrTiO_3氧敏元件的制备及机理分析

摘要

利用La、Nb进行施主掺杂,以固相合成法制备了高灵敏度的钛酸锶多晶陶瓷厚膜氧传感器。在600～850℃分别测试样品在大气及N2气氛下的电阻,并对样品的灵敏度和阻温特性进行了分析。研究了烧结温度对样品灵敏度、阻温特性等性能的影响,得出最佳烧结温度应在1 250℃。同时对样品敏感机理进行了深入分析,XRD、SEM的分析表明,制备的样品物相纯净且表面疏松。