应变计式压力传感器的非线性误差及灵敏度

摘要

应变计式压力传感器主要有圆板及圆筒式两种。圆板式压力传感器的弹性元件是一块等厚固支金属或硅圆板,在圆板上表面粘贴应变片或用扩散法形成压阻半导体层,如图1的R1、R2、R3及R4,并组成图2所示的电桥。当圆板底面作用均布压力P 时,上表面的径向及周向弯曲应力σβr及σβt,圆板中面径向及周向拉应力σ（αr）及σαt分别为[1][2]