压电陶瓷驱动器蠕变特性的研究

摘要

压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、体积小、响应快、输出力大、不发热等优点,但其固有的迟滞、蠕变和非线性,严重影响了它的定位精度。在大行程微动工作台中,需要借助于位移放大机构来克服压电陶瓷驱动器位移行程小的缺点,但放大机构在放大位移的同时,也放大了压电陶瓷蠕变和迟滞误差的影响。本文通过对一种大行程压电陶瓷微动工作台蠕变特性的研究性实验,得到了该机构的蠕变特性曲线,找到了压电陶瓷驱动器蠕变的规律,为进一步修正和减少蠕变误差的影响、提高系统的定位精度,提供了科学的依据。