MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现

摘要

在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器件的清晰图像。从而为后续 MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备。