初始硅粉粒度对自蔓延高温合成氮化硅的影响

摘要

研究了平均粒度分别为２，７．８和１５．４μｍ的３种初始硅粉在氮气中的燃烧氮化规律．初始硅粉粒度越细，则在氮气中的燃烧温度就越高，燃烧波蔓延速度越快，激活能也越低；较细的硅粉表面的硅蒸发通量大，ｐｓｉ高，易于形成延长方向与硅粉表面垂直的针状或柱状、纤维状晶体；而较粗的硅粉则易于形成氮化硅包覆层，且可以通过“包覆爆裂”机制继续进行二次氮化．较细的硅粉在氮气中的燃烧温度曲线上只出现一次燃烧峰，而较粗的硅粉却出现二次燃烧峰，硅粉越细，燃烧后产物中的α－Ｓｉ３Ｎ４量就越低．