SiGe HBT的速度优化设计

摘要

从理论分析角度介绍了优化SiGe异质结晶体管速度的方法。结合双极晶体管的工艺限制,介绍了SiGeHBT的基本原理,讨论了SiGeHBT的发射区/基区/集电区设计。最后,以一个100GHzfmax和fT的HBT为例,对电路制作工艺参数进行了讨论。