双法—珀光纤干涉仪及条纹定位法读数

摘要

双法—珀干涉型光纤位移传感器对光源的相干性要求很低,发光二极管LED即可作为光源。这种光源的优点是可以克服半导体激光光源的初始条件模糊及反馈引起的噪声等。用干涉条纹定位法测量传感腔长的变化,定位重复精度为4nm。