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浦军; 梅德庆; 陈子辰;
浙江大学现代制造工程研究所;
超精密隔振平台; 主动振动控制系统; 设计; 双向电磁作动器; 振动控制; PID控制; 精密加工;
机译:主动隔振与振动控制的精密设备微振动控制技术
机译:精密隔振台“稳定”稳定:隔振装置将环境振动阻挡在精密设备上
机译:具有谐波变化阻尼的半主动振动控制(SDOF系统的基础隔振性能和SDOF耦合系统的振动控制)
机译:基于遗传算法的超精密主动隔振平台集成优化设计
机译:使用基于LMS的控制算法对隔振支座进行自适应振动控制。
机译:使用应变片传感器和鲁棒复合控制器的压电平台中角运动的超精密测量和控制
机译:六自由度振动台,主动隔振器和万向舞台,用于精密运动控制和目标跟踪研究
机译:具有主动隔振器的投射曝光设备和通过主动隔振器控制振动的方法
机译:用于主动隔振器的振动控制器及其控制振动的方法
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