影响AlN陶瓷热导率的本征氧缺陷

摘要

对ＡｌＮ晶格中的铝空位、延展缺陷等进行了研究。研究表明，在固溶氧浓度较低（＜０．７５％，原子百分数）的高热导率ＡｌＮ试样中，铝空位的存在会造成ＡｌＮ晶胞局域收缩的现象，并观察到了铝空位的存在；固溶氧浓度较高（＞０．７５％）时，孤立的缺陷产生团聚，形成铝氧八面体；在氧浓度很高（＞＞０．７５％）的低热导率试样中观察到了反相区、多型体等延展缺陷。