添加元素Al,La改性IP-TiN膜性能研究

摘要

本文在离子镀TiN(IP-TiN)膜的基础上添加了6wt-％的金属元素Al和不同微量的稀土元素La(0.1,1.0,2.0wt-％),获得了改性的IP-TiN膜(称Al,La改性IP-TiN)。通过对镀膜性能的检测发现,当La含量增加到2wt-％时,镀膜与基材的附着强度明显提高;镀膜表面显微硬度、耐磨性亦随La含量增高出现有规律变化。经电子探针及X射线衍射分析认为是添加元素在镀膜与基材界面上形成较宽的使镀膜相组成及晶粒取向改变的过渡带所致。