基于光学相干层析成像系统的表面形貌测量研究

摘要

提出了一种基于光学相干层析成像的表面形貌测量方法,利用白光频谱域光学相干层,析系统对普通平面镜样品进行成像,对不同光程差对应的干涉光谱进行了测量,并分析了不同光程差对应的散射势峰值的位置,最终得到了平面镜样品的二维层析图像。实验结果可知,该系统可完成对物体表面形貌的测量,具有成像速度高、信噪比高和分辨率高的优点,可满足实际工业测量需要。