透射电子显微镜在失效分析中的应用

摘要

本文通过对失效实例分析,说明具有分辨率高、放大倍数大、图象清晰,并能进行电子衍射结构分析的透射电子显微镜,在失效分析中能发挥独到的作用,是失效分析中不可缺少的一种重要手段。