矩形AT切石英谐振器寄生振动模式的有限元分析

摘要

随着实际应用中的谐振器向小型化与高频发展 ,AT切石英晶体谐振器中寄生振动模式增多 ,寄生振动模式与主模式厚度切变模式之间的耦合问题越来越突出 .因此有必要对与晶片X和Z’尺寸均有关的寄生模式进行理论分析 .以Mindlin的二维晶片方程为基础 ,运用有限元法求解AT切石英晶体谐振器的振动模式 ,得到了晶片频率随X长度变化的频谱图 .其结果与Koga的实验结果比较 ,符合得比较好 .与通常用解析解的方法分析的结果相比较 ,有限元法的优越性在于可得到更多的非直行波模式 (非晶片长、宽方向 ) ,还可以模拟出各模式的主要位移分量的波形图 。