YBCO外延薄膜的afterglow plasma溅射生长

摘要

Y1Ba2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜溅射生长所遇到的主要问题是负氧离子的反溅射效应。采用afterglowplasma溅射生长YBCO薄膜,有效地抑制了负氧离子的反溅射效应,从而生长出了超导性质优异的YBCO单晶薄膜,薄膜的临界电流密度JC(77K,0T)=7.6×106A/cm2,薄膜的微波表面电阻Rs(77K,10GHz)=206μΩ,薄膜(005)峰摇摆曲线半高宽(FWHM)为0.120。