人工心瓣含硅热解炭涂层残余应力分析

摘要

目的研究人工心瓣含硅热解炭涂层的残余应力。方法通过化学气相沉积法制备含硅热解炭涂层,并对涂层进行物相与结构分析。利用X射线衍射法测定涂层表面SiC相残余应力,采用有限元法模拟含硅热解炭涂层表面残余应力情况。结果试样只包含热解炭与SiC两种物相,SiC颗粒尺寸小于10μm,分散在热解炭基质中。X射线衍射法测得两个试样SiC相残余应力值分别为-7,-9 MPa,有限元分析得出颗粒内残余应力约-6 MPa。结论 SiC相残余应力为压应力,有限元分析结果与实验值有较好的吻合。颗粒的尺寸对材料残余应力的影响并不明显。