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目录
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 碳的同素异构体
1.3 热解炭材料的分类
1.4 人工心瓣含硅低温热解炭
1.5 国内外研究现状
1.6 本文研究目的和主要内容
第2章 材料制备与实验方法
2.1 引言
2.2 准稳态流化床化学气相沉积工艺
2.3 材料分析方法
第3章 X射线衍射分析
3.1 引言
3.2 含硅低温热解炭涂层的衍射特点
3.3 含硅低温热解炭全谱拟合
3.4 X射线物相及定量结果
3.5 基体附近热解炭微晶分析
3.6 小结
第4章 热解炭微观形貌和密度
4.1 引言
4.2 扫描电镜和透射电镜观察分析
4.3 密度分析
4.4 小结
第5章 热解炭沉积机理探讨
5.1 引言
5.2 热解炭沉积机理
5.3 沉积温度和丙烷浓度对沉积机理和微观结构的影响
5.4 小结
第6章 总结与展望
6.1 总结
6.2 展望
致谢
参考文献
附录
杭州电子科技大学;