压电石英六维力传感器的解耦研究

摘要

概述了六维力传感器研究意义及现状,介绍了构成压电石英六维力传感器的三向力传感器的结构,讨论了4支点三向力传感器在其中的空间布局及其测量原理。对传感器面上六维力标定数据进行回归分析,得出其向间耦合方程,进行了解耦处理。在此基础上,将传感器用于轴上六维力测量,进行标定和解耦分析,验证了该结构的传感器可用于轴上六维力的测量。