半导体超晶格属性的高分辨率X射线衍射研究

摘要

详细阐述了低维半导体材料的X射线衍射的动力学理论和运动学理论 从高木 陶平 (T T)方程出发 ,基于波动光学原理 ,推导出任意结构的多层膜的X射线衍射振幅的递推关系式 并编写X射线衍射的程序 ,分别用动力学和运动学衍射理论模型模拟了 2 0层GaAlAs/GaAs超晶格的X射线衍射结果 。