LSMCD技术制备PLT铁电薄膜的退火工艺研究

摘要

液态源雾化化学沉积 (L SMCD)技术自 1992年问世以来就引起了各国科学家的广泛关注。目前 ,已成功制备出了多种铁电薄膜。该文系统的分析了采用 L SMCD技术制备 PL T铁电薄膜在退火温度和退火方式的选择对其相结构的影响 ,在保证 Pb O不挥发的情况下 ,退火温度越高 ,薄膜的结晶越好 ;采用混合热处理 (RCA)制备的薄膜晶粒尺寸较大 ,形成了连续致密的薄膜 ,而快速热处理 (RTA)虽可以消除焦绿石相 。