微电机系统(MEMS)的测试问题

摘要

微电机系统(MEMS)是在IC工艺技术基础上发展起来的一项重大科学技术,有着广阔的应用前景,但是它的测试问题从设计开始到批量生产,都面临着巨大的挑战。本文简单地论述了它们面临的测试问题。