厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究

摘要

研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响。结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大磁体单元高宽比为0.7是一个比较合适的尺寸。