Fe^(3+)离子敏感Ge-Sb-Se-Fe系薄膜的真空热蒸发制备研究

摘要

本文通过在低温下烧结靶材 ,利用电子束蒸发方法制备了Ge/Sb/Se/Fe比例可控的Fe3 + 离子敏感Ge Sb Se Fe系薄膜。用XRD和PHS 9V型酸度计研究薄膜的结构和性能。研究表明薄膜的Fe3 + 离子敏感性能为 (5 0 375± 4 12 5 )mV/十倍浓度 ,线性响应Fe3 + 浓度范围 (10 -2 ～ 10 -6)mol/L。