调Q脉冲CO_2激光切割Si_3N_4工程陶瓷的机理研究

摘要

采用调Q脉冲CO2激光器对Si3N4工程陶瓷进行了切割试验。在计及切口烧蚀前沿形状和高斯光束空间能量分布的前提下,采用简化的二维模型,针对气化切割过程,在能量平衡基础上,建立了一个脉冲激光切割数学模型。试验结果表明,采用高速多次重复走刀工艺可实现无损伤激光切割。