微电子技术现状及发展趋势

摘要

一引言本文旨在 -介绍会议其它三个方面的内容, -对微电子技术作介绍性综述, -提出对微电子题目作较详尽评述的大纲。“微电子技术”是本届电子工业学术年会的一个方面,其它几个方面是“数据处理”、“通信”和“工业电子学”。普遍的看法是,现代集成微电子技术是任何电子设备的关键基础技术,因此它对经济的发展起举足轻重的作用。微电子元件的单位功能成本每年递减40％,亦即近20年来降到原有价格的千分之一左右。今后十年,这个趋势可望继续以年降低25％的中等速度递减。其后面的推动力是。