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微型机械和微机器人的发展状况

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微型机械和微机器人的发展状况蔡鹤皋，孙立宁，安辉，张涛（哈尔滨工业大学）０引言近年来，国外在微型机构的开发和研究方面出现一个新兴的势头，即微机械电子学，利用ＩＣ的微细加工技术，将机构、传感器、控制器等集成在一个多晶硅片上，不仅将传统的无源机构变为有源...

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来源
《仪器仪表学报》 |1995年第s1期|38-41|共4页
作者
蔡鹤皋; 孙立宁; 安辉; 张涛;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机器人;
关键词
微机器人; 微型机械; 微型机器人系统; 发展状况; 微型机构; 装配机器人; 微动机器人; 压电陶瓷驱动; 微机械电子学; 应用领域;

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