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1.55μm MOEMS可调谐光滤波器调谐性能模拟

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建立了等效单层梁模型和一维集总模型,用经典力学理论和传输矩阵方法模拟了多层材料构成且具有四臂固支梁结构的1. 55μmSi基MOEMS(Micro Opto Electro Mechanical Systems)可调谐滤波器的调谐特性

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来源
《光子学报》 |2005年第4期|525-528|共4页
作者
左玉华; 毛容伟; 王良臣; 余金中; 王启明;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器 ;
关键词
MOEMS; 可调谐滤波器; Fabry-Perot; 表面微机械;

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