用电泳沉积-电沉积联合法制备二氧化锆(YSZ)薄膜

摘要

先用电泳法在掺锶锰酸镧（Ｌａ_０．８Ｓｒ０．２ＭｎＯ_３－ＬＳＭ）基片沉积一层忆稳定二氧化锆（ｙｔｔｒｉａ-ｓｔａｂｉｌｉｚｅｄ ｚｉｒｃｏｎｉａ-ＹＳＺ）薄膜，在烧结后的电泳薄膜上进行若干次电沉积和烧结，以封堵薄膜中孔隙进行．上述联合法综合了电泳沉积薄膜附着力强，烧结时不龟裂的优点和电沉积薄膜的颗粒细，易烧结性的优点，较好地解决了电化学沉积膜难以烧结致密的问题．制备出的薄膜致密性高，厚度为８～１４μｍ．