多层介质格林函数法求解导电衬底上的三维电容

摘要

文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了 一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算方法。由于使用了离散余弦变换等预处理方 法,它比基于有限元和时域有限差分的算法的计算效率更高。在这些算法的基础上,实现了一个三 维电容提取工具的原型,且得到了第三方工具的验证。