坩埚设计对多晶硅铸造应力的影响

摘要

针对铸造多晶硅凝固膨胀产生的应力引起铸锭开裂的问题,采用自行设计的分体式坩埚作为浇注模进行实验,与普通坩埚进行对比,并对裂纹形成机理进行了分析。结果表明,采用普通坩埚浇注的铸锭产生明显的宏观裂纹,而采用分体式坩埚浇注的铸锭没有裂纹;另外,普通坩埚只能使用一次,分体坩埚可重复使用。