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谢惠民; 戴福隆; 尚海霞; 李标;
清华大学工程力学系;
教育部破坏力学重点实验室;
扫描离子束云纹法; 高频光栅; 应变; 微电子机械系统; 面内变形;
机译:使用数字全息云纹测量平面内和平面外的位移和应变
机译:高精度,高速全场位移测量方法的发展:采样云纹法中最佳分析螺距的自动确定方法
机译:采样云纹法测量大型结构的总位移
机译:电热/静电双驱动MEMS扫描仪,具有大的面内和外平面位移
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:大位移基里米启发电热MEMS扫描仪的设计与制作
机译:美国陆军研究实验室微电子机械系统电子扫描天线测试在航空和导弹研究,开发和工程中心
机译:用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。
机译:在表面层上使用液面将微电子机械系统(MEMS)的设备与互补金属氧化物半导体(CMOS)设备集成在一起的方法
机译:用于微电子机械系统(MEMS)激光扫描装置的两元件F-THETA镜头
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