Si(NH)_2热分解法制备高纯超细Si_3N_4粉末的研究

摘要

本研究采用Si(NH)_2分解法,使SiCl_4与液氨反应生成Si(NH)_2,然后将Si(NH)_2在900°-1200℃间热分解成无定形Si_3N_4,在1200-1550℃结晶化处理,制得了高纯超细Si_3N_4粉末,对制得的Si_3N_4粉用X-射线衍射仪及红外光谱进行了相成份分析,并测定了纯度及比表面积,制备的Si_3N_4粉α相>94%,比表积为20m^2/g,平均粒径约为0.1μ。