Ar Pressure Dependence of the Properties of Molybdenum-doped ZnO Films Grown by RF Magnetron Sputtering

摘要

有高透明性和相对低的抵抗力的做铝的氧化锌(MZO ) 的透明进行氧化物电影被 RF (收音机频率) 准备磁控管在房间温度劈啪作响。在不同 Ar 压力下面扔的电影的结构、电、光的性质是当 Ar 压力增加，这些电影的性质沿着 c-axis.The 抵抗力与六角形的结构和比较喜欢的取向是多晶的模式表演增加的 investigated.XRD (X 光检查衍射) 。最低抵抗力完成了 is9.2X10^( 为与 30cm2 · V ^ 的霍尔活动性在 0.6 Pa 的 Ar 压力扔的样品的 -4)OMEGA · cm (-1) · s^(-1)and 2.3X10 ^(20 ) 的搬运人集中 cm^(-3) 。在可见范围的平均发射度为所有样品超过 88% 。光乐队差距与从 0.6 ～ 3.0 Pa 增加 Ar 压力从 3.27 减少到 3.15eV。