放电等离子烧结TbFeCo磁光靶材工艺研究

摘要

研究了采用放电等离子烧结技术制备TbFeCo磁光靶材的工艺过程 ,考察了烧结温度对材料组织均匀性和致密度的影响。利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析 ,同时用阿基米德法测量了材料的密度。结果表明 :适当的提高烧结温度可以使材料得到均匀的组织 ,理想的致密度。但过高的烧结温度会造成材料局部组织的熔化 ,使材料的组织均匀性变差 ,10 10℃的烧结温度是制备具有均匀组织和理想致密度Tb(Fe ,Co)