放电等离子烧结法制备ITO靶材

摘要

采用单相的ITO复合粉末经放电等离子烧结法(SPS)快速制备了ITO靶材。研究了SPS的主要工艺参数对ITO靶材致密化的影响。结果表明:靶材的相对密度随着烧结温度的升高而增大,在1000℃时达到最大值;在1000℃下烧结,延长保温时间使相对密度降低;在较低的温度下烧结时,延长保温时间有利于提高靶材的致密度;相对密度随着烧结压力的增加而增大;升温速率过快不利于靶材的致密化。对烧结试样的相组成和化学成分研究表明:不同温度下制备的ITO靶材均有少量的SnO2相析出,并有不同程度的失氧,铟锡的质量分数略大于ITO原粉中铟锡的质量分数。