三温区晶体生长炉热场设计探讨

摘要

晶体生长炉是晶体生长的基础。根据三硼酸锂 (LBO)、偏硼酸钡 (β BBO)等晶体生长的要求 ,我们设计制备了包含三温区的晶体生长炉。本文报道了关于该炉温场设计所考虑的基本问题和炉体材料的选择 ,给出了电气系统的基本框架及构件。实际测量表明 :该炉控温精度在上温区为± 0 .135℃ ,中温区为± 0 .0 9℃ ,下温区为± 0 .136℃ ,高温区炉温均匀度为 0 .86℃ ,低温区炉温均匀度为 - 0 .86℃。