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孙峰; 赵彦昌; 贾洪涛; 黄开仁;
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室;
汉光机械厂;
激光位置传感器; 象限探测器; 位敏探测器; 角位移测量精度;
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机译:一种测量位置精度的计算方法及利用测量位置精度的终端位置测量方法及装置
机译:测量位置精度的计算方法和计算装置,以及使用测量位置精度测量端子的位置的方法和装置
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