超精密机床的变增益交叉耦合控制研究

摘要

超精密加工的轮廓精度控制直接影响到工件的加工精度 ,交叉耦合控制算法通过对 2轴进行协调而影响轮廓控制精度。在分析超精密数控机床误差模型的基础上 ,将变增益交叉耦合控制算法引入超精密数控机床的伺服控制。实验结果表明 :变增益交叉耦合控制算法可以在不改变位置环的情况下 ,有效提高系统的轮廓精度。