新型半导体集成磁敏传感器的研究

摘要

本文论述了一种新颖的集成磁敏传感器。它是以互补三漏MOS晶体管为磁敏器件，采用半导体集成电路技术，将放大电路，偏置电路与磁敏元件集成在同一芯片上。该传感器具有灵敏度高、功耗低和体积小等特点。本文详细地分析了传感器的磁敏原理和电路结构，并对传感器的磁敏特性进行了测量和讨论。实验结果基本符合理论设计。